集成电路制造,半导体先进封装,微机电系统制造
水平显影机是半导体光刻制程中的关键设备,专为完成曝光后晶圆的光刻胶图形化而设计。它采用水平传送架构,晶圆平置并通过机械臂在密闭的工艺腔室间顺序传送。
集成电路制造,封装基板与HDI PCB,平板显示
水平铜蚀刻机是一种用于在基板表面进行选择性、图形化去除金属铜层的湿法工艺设备。它采用水平传送方式,使面板(如晶圆、玻璃基板或PCB)平置并通过密闭的工艺腔室,以完成均匀的蚀刻加工。
半导体先进封装,MEMS器件制造,医疗植入物与精密器械
回转式铜钛蚀刻机是一种采用回转臂带动工件进行公转和自转的湿法蚀刻设备,专为在复杂或多层结构中选择性、均匀地去除铜和钛金属层而设计。
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